0.1um粒子計(jì)數(shù)器對(duì)于半導(dǎo)體與微電子潔凈室檢測(cè)重要性

公司新聞????|???? ?2022-07-23 18:12:46

    用于微電子和半導(dǎo)體應(yīng)用的潔凈室設(shè)施由于其產(chǎn)品的敏感性而需要嚴(yán)格的環(huán)境控制。 這些潔凈室還裝有極其精密和昂貴的設(shè)備，例如光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、清洗機(jī)、摻雜機(jī)和切割機(jī)。 因此，清潔規(guī)范中的任何缺陷都會(huì)影響整個(gè)生產(chǎn)過程。 微電子和半導(dǎo)體潔凈室概念和設(shè)計(jì)中的其他常見問題是最大化空間，同時(shí)還允許未來重新配置。 由于所有這些原因，模塊化潔凈室系統(tǒng)通常是最佳解決方案。

    由于其產(chǎn)品的敏感性，微電子和半導(dǎo)體應(yīng)用的潔凈室設(shè)施需要嚴(yán)格的環(huán)境控制。 這些潔凈室還裝有極其精密和昂貴的設(shè)備，例如光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、清洗機(jī)、摻雜機(jī)和切割機(jī)。 因此，清潔規(guī)范中的任何缺陷都會(huì)影響整個(gè)生產(chǎn)過程。 微電子和半導(dǎo)體潔凈室概念和設(shè)計(jì)中的其他常見問題是最大化空間，同時(shí)還允許未來重新配置。 由于所有這些原因，模塊化潔凈室系統(tǒng)通常是最佳解決方案。

  

    半導(dǎo)體和微電子潔凈室滿足以下要求：氣密性； 紫外線過濾； 無顆粒滯留； 無污染物擴(kuò)散。


    ISO 8573-1 確立了三個(gè)粒徑范圍：0.1 到 0.5 微米（微米）、0.5 到 1.0 微米和 1.0 到 5.0 微米。 同樣，沒有大于 5 um 的顆粒符合 1-5 級(jí)純度等級(jí)。 只有純度等級(jí) 1 和 2 才需要所有三個(gè)尺寸范圍。通常，壓縮機(jī)或過濾器制造商建議使用過濾器去除顆粒和油脂，并且隨著半導(dǎo)體水平的提高，測(cè)量小至 0.1 微米的顆粒，校準(zhǔn)激光粉塵顆粒計(jì)數(shù)器 是必須的。 對(duì)于許多食品制造商來說，由于可用性和費(fèi)用的原因，這可能被證明是不切實(shí)際的。 如果不經(jīng)常采集小樣本，激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器可能會(huì)很昂貴，但當(dāng)粒子污染成為問題時(shí)，它會(huì)非常有用。 激光粒子計(jì)數(shù)器可用于通過現(xiàn)場測(cè)試結(jié)果快速采樣多個(gè)位置，使其成為故障排除的理想選擇。    

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0.1um激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器特點(diǎn)：


    KM128這款0.1um粒子計(jì)數(shù)器體積小巧、使用方便、質(zhì)量輕便、全不銹鋼外殼的，采用28.3L流量可以方便、快速、有效地檢測(cè)凈化環(huán)境中的懸浮粒子，是目前藥廠，電子廠快速檢測(cè)潔凈室潔凈度的首選產(chǎn)品。


●粒徑范圍為0.1-2(5)um

●易操作，大尺寸的觸摸屏，和簡明的菜單引導(dǎo)，確保了一個(gè)簡單和輕松自如的操作

●可存儲(chǔ)50000個(gè)樣本記錄

●采樣流量為28.3升/分鐘

●可選擇測(cè)量值的分布式輸出和累計(jì)輸出，選中的數(shù)據(jù)格式與通常使用電子表格程序兼容.



0.1um激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器規(guī)格：

1．測(cè)試粒子粒徑             0.1-2(5)um

2．粒子通道                   標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定或16個(gè)自由選擇粒徑通道

3. 最大濃度                    150000/ 1CFM

4. 光源                          激光二極管

5．光學(xué)系統(tǒng)                 90°分散蓄光光學(xué)

6．流量                        標(biāo)準(zhǔn)1CFM；28.3L/min

7．流量發(fā)生器              真空泵

8．流量控制                電子監(jiān)控

9．校準(zhǔn)                       乳膠氣溶膠依照國家標(biāo)準(zhǔn)和/或ASTM f - 328 ASTM f -649   

10. 標(biāo)準(zhǔn)                      ISO 14644-1, VDI 2083

11．取樣時(shí)間              1秒到99小時(shí)、59分鐘、59秒

12．?dāng)?shù)據(jù)存儲(chǔ)               50000個(gè)樣本

13．顯示和操作           屏幕大小8.4 英寸液晶TFT 顯示器

14．?dāng)?shù)據(jù)內(nèi)容記錄        日期，時(shí)間，ID號(hào)，字母數(shù)字鍵，測(cè)量和清零時(shí)間，累計(jì)粒子計(jì)數(shù)的16個(gè)粒徑通道

15．打印                     熱敏57mm

16．外殼                     不銹鋼

17．尺寸CM（D×W×H）       345*265*145mm

18．重量（KG）                      6KG

19．供電電源                           230/ 115 VAC, 50/ 60 Hz, 最大400 W  

20．聲音報(bào)警                          每個(gè)粒子通過聲音來探測(cè)到，聲強(qiáng)超過報(bào)警可調(diào)節(jié)

21．操作條件                          5-35℃， 10-80%RH，非冷凝