塵埃粒子計數器可識別0.1μm微粒，助力半導體行業(yè)潔凈度檢測~

公司新聞????|???? ?2025-01-06 10:42:31

半導體行業(yè)如何判定潔凈度：
顆粒數是衡量潔凈度的重要指標之一，通常用每立方米空氣中特定尺寸（如 0.1μm、0.3μm、0.5μm 等）的顆粒數量來表示。隨著芯片制程的縮小，對顆粒尺寸的控制越重要，尤其是0.1μm及以下的顆粒，將會對芯片的良率產生重要影響。例如在28nm及以下制程的芯片制造中，0.1μm的顆粒就可能導致芯片失效，控制顆粒數量不僅影響芯片性能和可靠性，也會影響芯片成品率，因此控制微小顆粒的數量對提高芯片生產效率來說很關鍵。

產品展示：

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產品參數：

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潔凈度等級標準：
國際上以環(huán)境中的塵埃粒子數量及大小來判定潔凈度的等級，不同的等級適用于不同的工藝，通用的ISO14644-1標準里對不同大小的粒子數量做出了明確規(guī)定。半導體行業(yè)通常采用粒子計數器等專業(yè)設備來進行檢測，在不同的采樣點和時間進行采樣，以確定環(huán)境中懸浮粒子的數量和大小，進而確認是否符合潔凈度等級標準。
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潔凈度等級標準：

該產品支持六粒徑通道檢測，包括0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm，能夠充分滿足潔凈度等級判定的需求，精準識別塵埃粒子的數量，為半導體制造過程保駕護航。這款塵埃粒子計數器的采樣氣量為28.3L/min±5%（1CFM），采樣濃度35000顆/升，能夠有效地對空氣里的顆粒數量進行檢測。

權威校準
通過蘇州市計量測試院JJF1190-2008《塵埃粒子計數器校準規(guī)范》，獲得權威校準，檢測質量有保證。