0.1um粒子計數(shù)器對于半導體與微電子潔凈室檢測重要性

公司新聞????|???? ?2024-04-30 12:25:43

    用于微電子和半導體應用的潔凈室設施由于其產品的敏感性而需要嚴格的環(huán)境控制。 這些潔凈室還裝有極其精密和昂貴的設備，例如光刻機、蝕刻機、清洗機、摻雜機和切割機。 因此，清潔規(guī)范中的任何缺陷都會影響整個生產過程。 微電子和半導體潔凈室概念和設計中的其他常見問題是最大化空間，同時還允許未來重新配置。 由于所有這些原因，模塊化潔凈室系統(tǒng)通常是最佳解決方案。

    由于其產品的敏感性，微電子和半導體應用的潔凈室設施需要嚴格的環(huán)境控制。 這些潔凈室還裝有極其精密和昂貴的設備，例如光刻機、蝕刻機、清洗機、摻雜機和切割機。 因此，清潔規(guī)范中的任何缺陷都會影響整個生產過程。 微電子和半導體潔凈室概念和設計中的其他常見問題是最大化空間，同時還允許未來重新配置。 由于所有這些原因，模塊化潔凈室系統(tǒng)通常是最佳解決方案。

  

    半導體和微電子潔凈室滿足以下要求：氣密性； 紫外線過濾； 無顆粒滯留； 無污染物擴散。


    ISO 8573-1 確立了三個粒徑范圍：0.1 到 0.5 微米（微米）、0.5 到 1.0 微米和 1.0 到 5.0 微米。 同樣，沒有大于 5 um 的顆粒符合 1-5 級純度等級。 只有純度等級 1 和 2 才需要所有三個尺寸范圍。通常，壓縮機或過濾器制造商建議使用過濾器去除顆粒和油脂，并且隨著半導體水平的提高，測量小至 0.1 微米的顆粒，校準激光粉塵顆粒計數(shù)器 是必須的。 對于許多食品制造商來說，由于可用性和費用的原因，這可能被證明是不切實際的。 如果不經常采集小樣本，激光塵埃粒子計數(shù)器可能會很昂貴，但當粒子污染成為問題時，它會非常有用。 激光粒子計數(shù)器可用于通過現(xiàn)場測試結果快速采樣多個位置，使其成為故障排除的理想選擇。    

        9510-塵埃0.1UM.jpg   

0.1um激光塵埃粒子計數(shù)器特點：

    ND‐9510 激光塵埃粒子計數(shù)器(0.1μm)用于測量潔凈環(huán)境單位體積空氣內的塵埃粒子大小及數(shù)目，最小 粒徑檔可達 0.1μm 可直接檢測潔凈度等級為三十萬級至十級的潔凈環(huán)境。儀器采用了半導體激光光源，液 晶大屏幕顯示，體積小、重量輕、檢測精度高、功能操作簡單明了，微處理器控制，可儲存、打印測量結 果，測試潔凈環(huán)境十分便利。產品廣泛應用于電子、光學、化學、食品、化妝品、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、 航空航天等領域。

   粒徑范圍為 0.1-2(5)um 操作界面友好：彩色觸摸屏操作，外殼全不銹鋼，無按鍵，無衛(wèi)生死角，便于清潔 存儲數(shù)據(jù)可 U 盤導出 6 通道粒徑同時顯示粒子濃度 交直流兩用 95%UCL 計算，自動判定潔凈度等級 可打印、可存儲、可導入電腦 體積重量至小至輕：便攜式，方便轉運 可選配相關配件，實現(xiàn)壓縮空氣的檢測（例如：GC101 等）


0.1um激光塵埃粒子計數(shù)器特點技術參數(shù)：

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